技術紹介

SiCウエハ品質課題を、独自技術で解決

Dynamic AGE-ing®によるSiCウエハのキラー欠陥（※1）
改善や表面ラフネスの平坦化

Dynamic AGE-ing®とは?

独自開発した光散乱法を用いた、SiCウエハ品質課題の原因究明と解決法提案

独自開発した評価ビジネスで何ができるのか？

QureDA技術発表資料

2025年 ICSCRMでのインダストリアルセッション資料 [PDF]